
QR-код құжаттың
>539.2
Г 462
Гиваргизов, Е. И.
Искусственная эпитаксия : перспективная технология. Элементной базы. Микроэлектроники. / С предисловием;.Е.П.Велихова. - М. : Наука, 1988. - 176 с. - ISBN 5-02-013845-2 : 1р. 90к. тг.
УДК | 539.2 |
Рубрики: Получение тонких пленок
Кл.слова (ненормированные):
Физика -- Микроэлектроника
Экземпляры всего: 1
Хр (1)
Свободны: Хр (1)
Жіктеу бойынша ұқсас басылымдар