Влияние термической обработки и лазерного воздействия на процессы окисления поверхности кремния/Кошеров, Т.

 

QR-код документа

Оценок: 0

53
К 110

Кошеров, Т.
    Влияние термической обработки и лазерного воздействия на процессы окисления поверхности кремния / Т Кошеров, Г Жанбекова // Қазақ мемлекеттік қыздар педагогикалық университетінің хабаршысы. - 2019.-№1.-80-58 б.

УДК
53

Рубрики: Физика

Кл.слова (ненормированные):
Оксидные образования -- Атомы кислорода -- Морфология поверхности -- КазГосЖенПУ

Доп.точки доступа:
Жанбекова, Г