
QR-код құжаттың
>53
К 760
Кошеров, Т.
Влияние термической обработки и лазерного воздействия на процессы окисления поверхности кремния / Т Кошеров, Г Жанбекова> // Қазақ мемлекеттік қыздар педагогикалық университетінің хабаршысы. - 2019.-№1.-80-58 б.
УДК | 53 |
Рубрики: Физика
Кл.слова (ненормированные):
Оксидные образования -- Атомы кислорода -- Морфология поверхности -- КазГосЖенПУ
Доп.точки доступа:
Жанбекова, Г